Используется в качестве газообразного изолятора в высоковольтных электрических установках. Считается фармакологически неактивным.

Разработанный Американской конференцией государственных промышленных гигиенистов стандарт TLV основывается на опасности удушающего эффекта гексафторида серы, как и других инертных газов. Следует также иметь в виду возможность разложения его с выделением раздражителей.